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刻蚀

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刻蚀，英文为Etch，它是半导体制造工艺，微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤。是与光刻［1］相联系的图形化（pattern）处理的一种主要工艺。所谓刻蚀，实际上狭义理解就是光刻腐蚀，先通过光刻将光刻胶进行光刻曝光处理，然后通过其它方式实现腐蚀处理掉所需除去的部分。

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刻蚀技术

FIB-TEM进行微纳加工和原位研究分析

聚焦离子束与电子束曝光系统相似，由发射源、离子光柱、工作台、真空与控制系统等结构组成，其核心为离子光学系统，适用的是液态金属离子源（例如镓离子源）。

2023-10-10 标签：SEM fib 光电探测器 86 0

半导体制造之光刻原理、工艺流程

光刻胶作为影响光刻效果核心要素之一，是电子产业的关键材料。光刻胶由溶剂、光引发剂和成膜树脂三种主要成分组成，是一种具有光化学敏感性的混合液体。其利用光化...

2023-10-09 标签：电路图光刻光刻机 132 0

泛林的等离子刻蚀介绍

通常，我们需要将岩性模式转换为多个。一次蚀刻通道中的胶片类型

2023-09-26 标签：等离子泛林科技刻蚀 59 0

芯片封装为什么要用到光刻机封装光刻机与芯片光刻机的区别

在芯片制造过程中，光刻机用于在硅片上形成光刻胶图形，作为制造电路的模板。光刻机使用紫外光或其他光源照射硅片上的光刻胶，并通过投影光学系统将图形投射到硅片...

2023-09-12 标签：芯片制造芯片封装光学系统 1101 0

浅谈PCB蚀刻质量及先期存在的问题

要注意的是，蚀刻时的板子上面有两层铜。在外层蚀刻工艺中仅仅有一层铜是必须被全部蚀刻掉的，其余的将形成最终所需要的电路。这种类型的图形电镀,其特点是镀铜层...

2023-09-07 标签：pcb 印刷电路板蚀刻 126 0

pcb蚀刻是什么意思

　在印制板外层电路的加工工艺中，还有另外一种方法，就是用感光膜代替金属镀层做抗蚀层。这种方法非常近似于内层蚀刻工艺，可以参阅内层制作工艺中的蚀刻。

2023-09-06 标签：pcb 蚀刻刻蚀 209 0

干法刻蚀在工艺制程中的分类介绍（干法刻蚀关键因素研究）

湿法刻蚀由于精度较差，只适用于很粗糙的制程，但它还是有优点的，比如价格便宜，适合批量处理，酸槽里可以一次浸泡25张硅片，所以有些高校和实验室，还在用湿法...

2023-08-28 标签：芯片集成电路刻蚀 190 0

光伏刻蚀工艺流程光刻蚀刻加工原理是什么

光刻蚀（Photolithography）是一种在微电子和光电子制造中常用的加工技术，用于制造微细结构和芯片元件。它的基本原理是利用光的化学和物理作用，...

2023-08-24 标签：太阳能电池光刻胶刻蚀 825 0

刻蚀工艺主要分为哪几种类型刻蚀的目的是什么？

PVP可以在刻蚀过程中形成一层保护性的膜，降低刻蚀剂对所需刻蚀材料的腐蚀作用。它可以填充材料表面的裂缝、孔洞和微小空隙，并防止刻蚀剂侵入。这样可以减少不...

2023-08-17 标签：芯片封装半导体器件刻蚀 779 0

半导体制造工艺解析

WCMP是电子束检测应用最重要的一层，这一层的功能主要体现在：可以使工程师遇到器件的漏电和接触不良问题。EBI的应用可以帮助提升成品率，减少半导体ict...

2023-08-11 标签：半导体晶体管电子束 263 0

刻蚀资讯

各种光刻技术你都了解吗？

当制程节点演进到5nm时，DUV和多重曝光技术的组合也难以满足量产需求了，EUV光刻机就成为前道工序的必需品了，没有它，很难制造出符合应用需求的5nm芯...

2023-10-13 标签：集成电路光刻机 EUV 32 0

北方华创：12英寸CCP晶边干法刻蚀设备已在客户端实现量产

半导体工程装备、北方华创的主要品种是刻蚀、薄膜、清洗、热处理、晶体生长等核心技术装备，广泛应用逻辑部件，存储半导体零部件、先进封装、第三代半导体照明、微...

2023-09-18 标签：半导体微机电零部件 364 0

光刻机产业链厂商分析国产半导体设备厂商迎新机遇

此前，国家知识产权局公布了一项华为新的专利。反射镜、光刻设备及其控制方法在极紫外光刻及核心技术上取得突破性进展。 4月，哈工大宣布实现了“电能转化等离子...

2023-08-25 标签：光刻机刻蚀半导体设备 1149 0

净利增长均超100%，设备依旧“凶猛”

数据显示，上半年北方华创实现营收78.2亿元-89.5亿元，同比增长43.65%-64.41%，归母净利润为16.7亿元-19.3亿元，比上年同期增长1...

2023-07-17 标签：LED芯片碳化硅刻蚀 198 0

什么是各向异性刻蚀？

各向异性刻蚀是一种减材微加工技术，旨在优先去除特定方向的材料以获得复杂且通常平坦的形状。湿法技术利用结构的晶体特性在由晶体取向控制的方向上进行蚀刻。然...

2023-08-22 标签：晶圆刻蚀 110 0

Aston 质谱仪对小开口区域的蚀刻有更高的灵敏度

上海伯东日本 Aston™ 质谱仪能够进行准确且可操作的端点检测, OA% 是传统 OES 计量解决方案的一个数量级（1/10）. Aston™ 质谱...

2023-06-20 标签：检测蚀刻质谱仪 108 0

电子特气国产替代有望加速

电子特种气体是集成电路制造所必需的支撑性材料，广泛应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节，对于纯度、稳定性、包装容器等具有较高的要求，被誉...

2023-06-19 标签：电子气体半导体制造刻蚀 390 0

半导体前端工艺：刻蚀——有选择性地刻蚀材料，以创建所需图形

在半导体制程工艺中，有很多不同名称的用于移除多余材料的工艺，如“清洗”、“刻蚀”等。如果说“清洗”工艺是把整张晶圆上多余的不纯物去除掉，“刻蚀”工艺则是...

2023-08-25 标签：半导体晶圆刻蚀 769 0

东京电子成功开发400层堆叠3D NAND闪存技术

这一创新技术可在短短33分钟内完成10微米深度的刻蚀，比以往的技术大大缩短了时间。东京电子方面表示：“如果应用该技术，不仅有助于制造高容量3d nand...

2023-06-12 标签：3D 刻蚀 720 0

引入空气间隙以减少前道工序中的寄生电容

作者：泛林集团半导体工艺与整合工程师 Sumant Sarkar 使用Coventor SEMulator3D®创建可以预测寄生电容的机器学习模型减少...

2023-03-28 标签：半导体电容刻蚀 347 0

刻蚀资料下载

晶体硅太阳能电池刻蚀的作用及方法与刻蚀的工艺流程等介绍立即下载

类别：电源技术 2017-09-29 标签：太阳能电池刻蚀 1408 0

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