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标签 > 微机电系统
微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。
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MEMS传感器的原理和构造深入解读 MEMS电容式传感器MEMS压阻式加速度计
MEMS传感器是当今最热门的传感器种类,MEMS技术使传感器微型化、低功耗、集成化成为可能,是未来传感器技术的发展方向之一。 本文编译自传感器宝...
采用射频微机电系统可重构滤波器而不是变容器来改变谐振器滤波器中谐振器的长度或其电路参数则形成了第二类可重构滤波器[10]-[15]。
如何借助高均匀性的 SOI 优化衬底在 MEMS 中实现多种设计创新?
微机电系统 (Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS) 是迄今最具潜力的 CMOS 传感器与驱动器电子器件集成解决...
基于微机电系统MEMS技术的Bourns BPS140系列压力传感器介绍
BPS140系列极其坚固,其结构即使在高温下也能够处理高压范围(15至500 PSI)。Bourns最新压力传感器的另一个优点是结构与背面压力测量相结合...
源自微电子,MEMS制造的优势在于批处理。就像其它任何产品,MEMS器件规模量产加大了它的经济效益。如同集成电路制造,MEMS制造中光刻方法往往最具成本...
2019-06-28 标签:微机电系统 8025 0
金离子注入石英片制备了一种微流控泵,实现激光实时操控宏观流体运动
基础院博士后岳帅、博士生林峰和河南工程学院张秋慧副教授为共同第一作者,电子科技大学基础与前沿研究院为第一作者及第一通讯单位。电子科技大学王志明教授和美国...
Bourns新推出的环境传感器采用最先进的技术,即便在多数传感器可能产生故障的条件下仍能顺利运行。BPS110和BPS120压力传感器可为敏感应用提供极...
MEMS器件具有重量轻、体积小、成本低、功耗小等优点,非常有利于MEMS器件在电信和消费电子等行业中的应用。近年来,MEMS技术在汽车行业尤其是包括安全...
USound推基于微机电系统(MEMS)的对患者安全的扬声器
为个人设备和可穿戴技术开发微机电系统(MEMS)扬声器的全球性公司USound宣布进军健康科技行业,将推出完全适用于磁共振成像兼容耳机和配件的MEMS扬...
微型扬声器尺寸仅为10-20平方毫米,非常适合未来可听设备的应用,例如同声传译、支付功能和其他基于语音的互联网服务。
赛微电子主营业务 MEMS(微机电系统)工艺开发与晶圆制造具备全球竞争优势,拥有业内顶级专家与工程师团队以及持续扩张的8英寸成熟产能,较好地把握了下游生...
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