1平行度。
如果主轴水平不符合要求,切割后的刀槽会变宽,边缘会严重坍塌。例如,NBC-ZH2050O-SE27HEDD刀具切割硅晶圆,主轴转速3万r/min、划切速度20mm/s时间。理想的刀痕为0.030~0.035mm,当主轴打表水平等于5时μm实测刀痕为0.045mm。
2垂直度。
如果切割后工件的刀槽一侧坍塌,裂纹严重,另一侧正常,通常由于主轴垂直度不足,可根据坍塌边缘确定主轴的仰角或俯角。
3.主轴速度。
主轴速度匹配切割速度,影响切割效果是主轴速度,理论上增加主轴速度,提高切割速度,确保固定线速度不影响切割效果,但不同速度范围内的主轴振动不同,需要找到最佳组合点,在保证切割效果的前提下提高效率。注:选择主轴速度时,注意工具允许的最大速度,如DISCO的PIA直径50的系列刀具mm(2寸)刀盘时,最高速度<60000r/min;75mm(3寸)刀盘时,最高速度<40000r/min。刀具在超过允许的最高速度时会自动解体。
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