芯片生产的工具就是紫外光刻机,是大规模集成电路生产的核心设备,对芯片技术有着决定性的影响。小于5 nm的芯片只能由EUV光刻机生产。那么euv光刻机原理是什么呢?
EUV光刻机的原理是接近或接触光刻,通过无限接近,将图案复制到掩模上。直写光刻是将光束聚焦到一个点上,通过移动工作台或透镜扫描实现任意图形处理。投影光刻是集成电路的主流光刻技术,具有效率高、无损伤等优点。
EUV光刻机有光源系统、光学镜头、双工作台系统三大核心技术。
高端投影光刻机可分为两种类型:步进投影光刻和扫描投影光刻。分辨率一般在在10纳米到几微米之间。高端光刻机被誉为世界上最精密的仪器。
本文综合自百度百科、时间财富网
审核编辑:何安
声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。
举报投诉
-
光刻机
+关注
关注
31文章
1033浏览量
45940 -
EUV
+关注
关注
8文章
507浏览量
85363
发布评论请先 登录
相关推荐
关于EUV光刻机的分析介绍
EUV光刻机,那么光刻的步骤将会超过100步,这会让人疯狂。所以所EUV光刻机无疑是未来5nm和3nm芯片的最重要生产工具,未来围绕EUV光刻机的争夺战将会变得异常激烈。因为这是决定这些厂商未来
EUV光刻机还能卖给中国吗?
EUV光刻机是目前全球唯一可以满足22nm以下制程芯片生产的设备,其中10nm及以下的芯片制造,EUV光刻机必不可缺。一台EUV光刻机的售价为1.48亿欧元,折合人民币高达11.74亿元
ASML完成第100台EUV光刻机出货
EUV光刻机的出货。更加利好的消息是,业内预估ASML今年(2021年)的EUV光刻机产能将达到45~50台的规模。
为什么都抢着买价格更昂贵的EUV光刻机?
EUV光刻机,三星、台积电都是ASML的客户。但受《瓦森纳协定》的制约,中国大陆没有从ASML买来一台EUV光刻机。
SK海力士豪掷4.8万亿韩元抢购EUV光刻机
EUV光刻机成为制高点,之前台积电抢购了全球多数的EUV光刻机,率先量产7nm、5nm工艺,现在内存厂商也要入场了,SK海力士豪掷4.8万亿韩元抢购EUV光刻机。
EUV光刻机何以造出5nm芯片?
光刻机巨头,ASML的EUV光刻机已经在全球顶尖的晶圆厂中获得了使用。无论是英特尔、台积电还是三星,EUV光刻机的购置已经是生产支出中很大的一笔,也成了7nm之下不可或缺的制造设备
EUV光刻机何以造出5nm芯片
光刻机巨头,ASML的EUV光刻机已经在全球顶尖的晶圆厂中获得了使用。无论是英特尔、台积电还是三星,EUV光刻机的购置已经是生产支出中很大的一笔,也成了
euv光刻机出现时间 ASML研发新一代EUV光刻机
EUV光刻机是在2018年开始出现,并在2019年开始大量交付,而台积电也是在2019年推出了7nm EUV工艺。
发表于 07-07 09:48
•4200次阅读
euv光刻机是哪个国家的
光刻,许多人可能不知道它是什么。光刻机是制造芯片的机器和设备。没有光刻机的话,就无法生产芯片,因此每个人都知道光刻机对芯片制造业的重要性。那么
euv光刻机是干什么的
EUV光刻机生产。 EUV光刻机有光源系统、光学镜头、双工作台系统三大核心技术。 目前,最先进的光刻机是荷兰ASML公司的EUV光刻机。预计在光路系统的帮助下,能
duv光刻机和euv光刻机区别是什么
光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术,EUV使用的是深紫外光刻技术。EUV为先进工艺芯片光刻的发展方向。那么duv
什么是EUV光刻机?
EUV光刻机。它是一种采用极紫外线光源进行曝光的设备。与传统的ArF光刻机相比,EUV光刻机可以将曝光分辨率提高到7纳米以下的超高级别,从而实现更高清晰度和更高性能的芯片制造。
发表于 05-22 12:48
•3389次阅读
日本的EUV光刻机引进之路
EUV光刻机,为其晶圆代工厂提供最先进的工艺支持,日本虽然半导体制造水平这些年来提升不大,却也计划引进EUV光刻机来打破这一困局,重回行业一流
评论