首期投资5000万，俄罗斯要自己造光刻机！摆脱对外依赖的可能性有多大

电子发烧友网报道（文/李弯弯）俄罗斯要开始自己研发光刻机了。据俄媒报道，俄罗斯莫斯科电子技术学院（MIET）承接了贸工部开发制造芯片的光刻机项目，该项目由俄罗斯政府首期投资6.7亿卢布资金（约合5100万元人民币）。

俄乌开战之后，世界多个国家相继发起对俄罗斯的制裁，包括日前美国还将俄罗斯最大芯片制造商Mikron列入制裁名单，面对这样的局面，俄罗斯也不能坐以待毙，光刻机作为芯片制造过程的关键设备之一，越早开始研发便能越早摆脱受人控制的局面。

俄罗斯自研全新EUV光刻机

俄罗斯计划研发的光刻机，使用的是X射线技术，波长介于0.01nm到10nm之间，比EUV极紫外光要短，这意味着俄罗斯要开发的光刻机，光刻分辨率会比EUV光刻机高很多。

EUV光刻机，即极紫外线光刻机，是生产大规模集成电路的核心设备，对芯片工艺有着决定性的影响，小于5nm的芯片晶圆，只能用EUV光刻机生产。

相较于之前的DUV光刻机，是把193nm波长的短波紫外线，替换成了13.5nm的极紫外线，目前世界上仅ASML一家可以生产EUV光刻机。

对于芯片制造来说，EUV光刻带来的作用是突破性的，工艺越先进，芯片性能就越好，功耗就会更低，核心面积更小，芯片产能也会增加，而且成本也会下降。

俄罗斯计划开发的全新光刻机，在一定程度上还要优于ASML的EUV光刻机。而且计划开发的光刻机不需要光掩模版，可以直写光刻，这样在成本上可以节省不少。

具有X射线透射率控制的无掩模X射线光刻方案

带有X射线反射系数控制的无掩模X射线光刻方案

俄罗斯在自研X射线光刻机方面有其优势，因为它本身在X射线及等离子之类的技术上就有深厚基础，而且俄罗斯有些公司是ASML的核心供应商，具备一定的核心技术，这些都非常有利于俄罗斯接下来在X射线光刻机的研发和制造。

不过也存在问题，光刻机技术并不是那么容易攻克的，需要耗费大量的时间和金钱，不然也不至于如今在EUV光刻机上，仅有ASML一家企业可以供应了。

从俄罗斯政府初期5000多万人民币的投入来看，在资金的投入上可能还远远不够，如果希望做出成绩，后续估计还要做好持续投入资金的准备。

另外，有业内人士认为，如果研发的光刻机不需要使用掩模板，那么可能在生产高集成度的芯片方面就值得怀疑，会不会俄罗斯研发该光刻机，首先只是为了满足某些特定场景的需求。

不过只要开始，就是进步，就可能带来成果，而且后续还可以逐渐在之前研发的基础上，持续调整，争取实现更大的突破，俄罗斯自研X射线光刻机是值得期待的。

中俄摆脱光刻机依赖的可能性有多大

不仅仅是俄罗斯受到美国制裁，中国在先进EUV光刻机上也受到美国出口限制，2021年7月，美国官员透露，拜登政府在确认EUV光刻机在科技产业中的战略价值后，选择延续特朗普时期的政策。随后ASML表示，针对中国大陆的情况，该公司将不得不“静观其变”。

除了俄罗斯要自研X射线光刻机应对制裁，中国也一直在积极设法突破光刻机技术，然而难度可想而知，EUV光刻机涉及零部件之多，生产工序之繁琐不是一朝一夕可以攻克的。

根据ASML公布资料，每台EUV光刻机有超过10万个零件，这些零部件分别来自超过40多个国家5000多家供应商。每台EUV光刻机共有7大模块，每个模块由ASML全球六个生产基地制造，涵盖全球60个工厂。

EUV光刻机最大重量达180吨，各种零部件、模块运送到荷兰总部测试总装之后，还要再拆开装运给客户，需要20辆卡车或3架波音747飞机。可以看到ASML的EUV光刻机除了技术难度之外，还有就是涉及大量供应商，这其中也不是短时间能够建立稳定合作关系的。

不过因为非常困难就不做了吗，并不是的，过去中国也一直在进行光刻机方面的研发，包括DUV光刻机和EUV光刻机，虽然目前在EUV光刻机方面并没有取得实质性成果，不过在技术上还是取得过一些进展。

比如，2021年初清华团队在《Nature》上发表了一篇题为《稳态微聚束原理的实验演示》的论文，该论文里，研究团队报告了一种新型粒子“稳态微聚束”，并进行了原理验证实验。

实验中，研究团队利用波长1064nm的激光，操控位于储存环内的电子束，电子束在绕环一整圈（周长48米）后形成了精细的微结构，即“稳态微聚束”。

通过探测辐射，研究团队验证了微聚束的形成，随后又验证了SSMB的工作机理。该粒子可以获得光刻机所需要的极紫外波段，这为大功率EUV光源的突破提供全新的解决思路。

事实上ASML的CEO温彼得也多次表示，虽然EUV光刻机技术，中国不太可能独立复制出来，但是还是不能这么绝对，他说，“他们肯定会尝试。”

2021年4月，他也曾喊话美国，对华出口管制不仅不能阻碍中国技术进步，也将伤害美国自身的经济，限制出口只会加快中国自主研发的速度。

在美国出口管制的制裁之下，中国和俄国都积极从不同角度，寻求在光刻机上的突破，从另一个角度来看，虽然可能需要耗费十几年甚至几十年时间才能取得一些突破，但是所谓努力任何时候都不晚，如果世界上有人曾经造出来，那就一定还会有更多人也能造出来。

总体来看，俄罗斯开始自研X射线光刻机，或许对于中国来说也是好事，多一个国家加入到光刻机的自研中，就多一丝摆脱欧美一家独大局面的希望，而且或许中俄也可以发挥各自的优势，在某些技术或零部件方面建立合作，携手共进。