资料介绍
摘要: 针对传统结构超结 IGBT 器件在大电流应用时的电导调制效应较弱,削弱了 IGBT 器 件低饱和导通压降优点的问题,设计了 p 柱浮空的超结 IGBT 器件 ( FP-SJ-IGBT) 。采用深槽刻 蚀和回填工艺制备了 p 柱和 p 体区分离的超结 IGBT 器件。测试结果表明,该器件击穿电压高于 660 V,在导通电流 20 A 时,其饱和导通压降为 1. 7 V,相比于传统超结 IGBT 器件更低,关断 能量为 0. 23 mJ,远低于传统超结 IGBT 器件的 3. 3 mJ,较低的导通压降和关断能量使得 FP-SJIGBT 器件的电流密度可达 449 A/cm2 。此外,在 400 V 直流母线电压下,FP-SJ-IGBT 器件具有 不低于 10 μs 的短路时间。
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